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MOCVD行业应用方案


当前LED产品广泛地用于显示器、交通信号灯、汽车灯、手机键盘、装饰照明等行业,政府也对该产业给予大力的支持,目前的LED产业是绝对的朝阳产业。

金属有机物化学气相淀积(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition, 简称MOCVD)是生产LED晶圆的主流方法。

一套MOCVD设备中需要配备若干台高功率电源设备为系统供应能量,且不同的系统部件需求不同功率等级电源设备。MOCVD的一次制程长达数个小时,在此过程中如任何一台电源发生故障,会导致整个制程失败,损失几万美元的晶圆材料以及相应的时间。因此,对于应用于MOCVD设备中的电源来说,首要的要求就是可靠性。

AMETEK Sorensen SG系列直流电源提供了MOCVD客户所需的高可靠性的同时还具备高精度,高功率密度,易于集成等特点在此行业应用中,该系列产品具有良好的口碑。

在使用过程中,MOCVD厂家会使用温度传感器严格控制加热器的温度,同时考虑到气态的半导体原材料,风冷的设备有可能会吸入带电半导体颗粒导致损坏,所以部分客户要求水冷的电源产品。AMETEK还推出水冷的高功率直流电源产品 - ASD系列产品,以进一步提高可靠性。

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案例分享

MOCVD行业领导厂家先后选购SG系列直流电源和XG系列直流电源数十台用于LED晶圆生产。